---及显影设备还包括主体---机10、基板输送机构50及传送装置40。主体---机10用于先对基板s的主体进行---。传送装置40用于将来自该主体---机10的基板s传送至基板输送机构50,传送装置40例如为机械手臂。基板输送机构50用于将基板s输送至显影装置30,基板输送机构50例如为输送辊。由于该基板的长边边缘容易存在残留光阻,因此,本公开通过设置对应于基板的长边边缘的边缘---装置20,即可去除绝大部分的残留光阻。
酸洗通常都是采用一个酸洗槽和其配套的水洗槽进行浸泡式酸洗,也有采用由喷射式或超声波水洗组成的联合清洗系统,使用这种联合清洗系统可以将复杂的工件表面清洗干净,还可以使操作时间缩短,铭牌---显影设计,---是合理的水清洗系统更可以做到将清洗---的前提下的减少用水量,铭牌---显影报价,从而减少废水处理系统的负荷和成本。在清洗之后资料也需求停止吹干,铭牌---显影工艺,然后厂家将会选用合适资料的办法来去除维护涂层,然后就可以停止一步,铭牌---显影,外表精饰。
本实施方式中,边缘---装置20架设于基板输送机构50上,且包括边缘---机21、cxd影像处理器22及驱动装置23。边缘---机21与基板s的边缘对齐设置。cxd影像处理器22与边缘---机21连接,例如固定于边缘---机21的前端,用于撷取基板s和边缘---机的边缘的影像,并通过该影像测定基板s的偏移量。驱动装置23与边缘---机21和cxd影像处理器22连接,驱动装置23根据基板s的偏移量驱动边缘---机20移动,以补偿偏移量。该基板的偏移量是指基板s的边缘相对于边缘---机21的偏移量。
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