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测试步骤

用初始recipe生产测试版，并量测cd做数据分析。根据数据分析结果中radio误差数据，调整显影工艺段recipe，充电宝外壳---显影，通过显影补偿手段使得radio误差数据优。通过调整---机bias，显影时间和蚀刻时间等参数使得cd mean指标达标。使用优化后的recipe生产测试版，重复cd uniformity测试，检验现有工艺条件下该指标的性能。

当显影液中含有---酸钠时，即可消除上述不利影响，这是由于---酸钠可迅速地与显影剂的氧化产物--配反应，生成了无色的可溶性的对二酚单磺酸钠，而且它还具有显影作用，是一种显影活性较弱的显影剂。这样不仅避免了显影过程中污染物质的大量形成，充电宝外壳---显影供应商，而且还将其氧化产物转化成有助于显影的物质，使显影液显影能力的得比较缓慢，起到了稳定显影能力的作用。