平面---显影-利成感光-平面---显影加工

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    2024-1-26

张应叙
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测试步骤


用初始recipe生产测试版,并量测cd做数据分析。根据数据分析结果中radio误差数据,调整显影工艺段recipe,通过显影补偿手段使得radio误差数据优。通过调整---机bias,平面---显影加工,显影时间和蚀刻时间等参数使得cd mean指标达标。使用优化后的recipe生产测试版,重复cd uniformity测试,检验现有工艺条件下该指标的性能。





它们的电离程度很小,平面---显影报价,尤其是当过量的---钠存在时,溶液中银离子的浓度是很小的。溶液中银离子浓度与卤离子浓度的乘积小于卤化银的溶度积,因此卤化银会不断溶解,直到全部生成络合物为止。---铵的定影速度比---钠快,平面---显影厂,因此在快速定影液中,都采用梳代---铵。不过---铵有溶解银影,使银影减薄的作用,使用时需加以注意定---的感光材料,乳剂层中还渗有大量的---钠和银的络盐,平面---显影,必须通过水洗除去,否则会影响影像的保存性。




数据处理

cd测量数据。一般cd uniformity测试数据是一个矩阵。测量点数有7×7.9x9.11×11或13×13.cd测量数据一般分 方向和y方向的数据。由于---机的特性,通常y方向的cd精度高于 方向的精度。所以在做显影机!性能指标分析时,采用y方向的cd值分析。数据分析软件。该软件是一个excel文档,通过执行文档中的宏命令对cd数据矩阵分析,分离出各种因素对cd均匀性的影响。通常cd均匀性可分解成径向误差,侧向误差和随机误差。由于我们的显影设备是旋转式喷淋,所以我们需分离出径向误差加以分析,通过一定补偿方法提高cd均匀性指标。






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