铭牌---显影厂商-海丰铭牌---显影-利成感光五金厂

测试步骤

根据空白版供应商的显影时间建立显影工艺的初始recipe，一般初始recipe内容如下：

掩模版停在高位，铭牌---显影厂商，冲洗显影喷嘴和蚀刻喷嘴（先喷药液5秒，然后喷水10秒）掩模版降至底部，海丰铭牌---显影，转速设置100rpm，显影喷嘴喷水浸润掩模10秒。显影喷嘴切换到显影液，显影时间参考空白版供应商建议。完成显---，显影喷嘴切换到水冲洗15秒。改用top beam喷嘴冲水清洗掩模版，掩模版应上下移动以---整个掩模版被冲洗干净。冲洗完成后，蚀刻喷嘴喷水冲洗10秒，然后切换到蚀刻液。蚀刻时间参考etch to clea则试结果。完成蚀刻后，蚀刻喷嘴切换到水冲洗15秒。改用top beam喷嘴冲洗掩模版。+完成冲洗后， 1000rpm旋转甩干。

数据处理

cd测量数据。一般cd uniformity测试数据是一个矩阵。测量点数有7×7.9x9.11×11或13×13.cd测量数据一般分 方向和y方向的数据。由于---机的特性，通常y方向的cd精度高于 方向的精度。所以在做显影机！性能指标分析时，采用y方向的cd值分析。数据分析软件。该软件是一个excel文档，铭牌---显影订做，通过执行文档中的宏命令对cd数据矩阵分析，分离出各种因素对cd均匀性的影响。通常cd均匀性可分解成径向误差，铭牌---显影价格，侧向误差和随机误差。由于我们的显影设备是旋转式喷淋，所以我们需分离出径向误差加以分析，通过一定补偿方法提高cd均匀性指标。